海德漢HEIDENHAIN增量式長度計

對測量法是指編碼器通電時就可立即得到位置值并隨時供后續(xù)信號處理電子電路讀取。無需移動軸執(zhí)行參考點回零操作。位置信息來自光柵碼盤，它由一系列碼組成。單獨的增量刻軌信號用于細(xì)分處理后得到位置值，同時也能生成供選用的增量信號（與接口類型有關(guān)）。大多數(shù)海德漢公司光柵尺或編碼器都用光電掃描原理。對測量基準(zhǔn)的光電掃描為非接觸掃描，因此無磨損。這種光電掃描方法能檢測到非常細(xì)的線條，通常不超過幾微米寬，而且能生成信號周期很小的輸出信號。測量基準(zhǔn)的柵距越小，光電掃描的衍射現(xiàn)象越嚴(yán)重。海德漢公司的直線光柵尺采用兩種掃描原理：成像掃描原理用于20 μm至大約40 μm的柵距。干涉掃描原理用于更小柵距的光柵，例如8μm。掃描掩膜與光柵尺的相對運動使*級的衍射光產(chǎn)生相位移：當(dāng)光柵移過一個柵距時，前一級的+1衍射光在正方向上移過一個光波波長，-1衍射光在負(fù)方向上移過一個光波波長。由于這兩個光波在離開掃描光柵時將發(fā)生干涉，光波將彼此相對移動兩個光波波長。也就是說，相對移動一個柵距可以得到兩個信號周期。例如，干涉光柵尺的柵距一般為8 μm、4 μm甚至更小。其掃描信號基本沒有高次諧波，能進(jìn)行高倍頻細(xì)分。因此，這些光柵尺特別適用于高分辨率和高精度應(yīng)用。MT 1200和MT 2500系列的海德漢CERTO和海德漢METRO長度計采用干涉掃描原理。

簡單的說，成像掃描原理是采用透射光生成信號：兩個具有相同或相近柵距的光柵尺光柵和掃描掩膜彼此相對運動。掃描掩膜的基體是透明的，而作為測量基準(zhǔn)的光柵尺可以是透明的也可以是反射的。當(dāng)平行光穿過一個光柵時，在一定距離處形成明/暗區(qū)。掃描光柵就位于該位置。當(dāng)兩個光柵相對運動時，穿過光柵尺的光得到調(diào)制。如果狹縫對齊，則光線穿過。如果一個光柵的刻線與另一個光柵的狹縫對齊，光線無法通過。一組規(guī)則排列的光電池將這些光強變化轉(zhuǎn)化成電信號。特殊結(jié)構(gòu)的掃描掩膜將光強調(diào)制為近正弦輸出信號。柵距越小，掃描掩膜和光柵尺間的間距越小，公差越嚴(yán)。MT 60和MT 100系列的海德漢ACANTO、海德漢SPECTO和海德漢METRO長度計采用成像掃描原理。干涉掃描原理是利用精細(xì)光柵的衍射和干涉形成位移的測量信號。階梯狀光柵用作測量基準(zhǔn)：高度0.2 μm的反光線刻在平反光面中。光柵尺前方是掃描掩膜，其柵距與光柵尺柵距相同，是透射相位光柵。光波照射到掃描掩膜時，光波被衍射為三束光強近似的光：-1、0和+1。光柵尺所衍射的光波中，反射光的衍射光強zui強的光束為+1和-1。這兩束光在掃描掩膜的相位光柵處再次相遇，又一次被衍射和干涉。它也形成三束光，并以不同的角度離開掃描掩膜。光電池將這些交變的光強信號轉(zhuǎn)化成電信號。海德漢HEIDENHAIN增量式長度計

除系統(tǒng)精度外的其它因素也影響可獲得的測量整體精度。特別是包括測量期間的環(huán)境溫度和溫度波動以及測量設(shè)備的穩(wěn)固性和垂直度。測量環(huán)中的所有部件，例如支撐被測對象的底座、帶支架的測量座以及長度計本身，影響測量結(jié)果。測量系統(tǒng)由于機械或溫度變化而產(chǎn)生的膨脹或變形直接帶來誤差。機械結(jié)構(gòu)必須保證測量裝置的穩(wěn)定。必須避免測量環(huán)內(nèi)有長懸臂。海德漢公司提供穩(wěn)定的測量座輔件。測量所導(dǎo)致的作用力不應(yīng)使測量環(huán)產(chǎn)生任何可測的變形。 海德漢公司的長度計的測量力小，對測量系統(tǒng)幾乎沒有影響。必須將長度計安裝在其測量桿與被測對象或支撐被測對象的表面精確垂直的位置。如果偏離垂直位置將造成測量誤差。海德漢公司帶8mm裝夾桿的測量座的輔件可以保證安裝的垂直性。帶二維安裝面的長度計需進(jìn)行方向調(diào)整，使之與垂直于測量臺的安裝面（Y）平行。借助于量塊或平行平尺，可以快速、可靠地調(diào)整。在（X）方向與測量工作臺的垂直性由測量座保證。測量過程中的溫度變化將導(dǎo)致長度變化或測量裝置變形。溫度每升高5K，200 mm長的鋼棒膨脹約10 μm。如果偏離基準(zhǔn)溫度的溫差是均勻的，通過調(diào)整測量工作臺或模板的原點可基本補償；只有光柵尺和被測對象的膨脹才會帶到測量結(jié)果中。 測量過程中的溫度變化無法用數(shù)學(xué)方法確定。

海德漢的增量式長度計能在一個長的測量范圍內(nèi)提供很高的精度。這些堅固耐用的長度計根據(jù)不同的應(yīng)用有不同的產(chǎn)品類型。他們在度量行業(yè)有廣泛的應(yīng)用，多點測量站、測試設(shè)備檢測和位置測量裝置。海德漢公司的長度計所具有的高精度還體現(xiàn)它的全量程上。無論是測量10 mm還是100 mm的零件，其實際尺寸的測量精度是*一樣的。海德漢公司的長度計具有高重復(fù)性特點，可用于比較測量，例如用于大批量生產(chǎn)。海德漢公司的長度計測量范圍有12 mm、25 mm、30 mm、60 mm或100 mm多種選擇，因此其一臺測量設(shè)備可以測量非常不同的零件，避免頻繁地更換價格昂貴的量塊或模板。 海德漢公司的長度計是為工業(yè)環(huán)境而制造的。它具有長期始終如一的高精度和出色的溫度穩(wěn)定性。所以，可以廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)設(shè)備和機床中。海德漢選用低膨脹系數(shù)的特殊材料制造關(guān)鍵零件，例如海德漢CERTO系列長度計的測量座。這樣可使海德漢CERTO系列長度計能在19°C至21°C的環(huán)境溫度和溫度變化±0.1 K的測量過程中確保高精度。

HEIDENHAIN 光柵 LS187C/Sn/26383020/Idr/526974-09/940m
HEIDENHAIN 光柵 LS187C/Snr/22267727A/Idr/526974-16/16
HEIDENHAIN 編碼器 ERN 480 2048 27S12-03  ID：385 480-41  SN：31 246 960A
HEIDENHAIN 編碼器 ERN1381 ID727222-56
HEIDENHAIN 編碼器 ROD426 2500 03S12-03 ID:376846-V1
HEIDENHAIN 光柵尺 ID:336962-68
HEIDENHAIN 編碼器 RON285C 18000  358699-20
HEIDENHAIN 編碼器 RON 285C 18000 358699-27
HEIDENHAIN 接口板 ID.Nr324955-15
HEIDENHAIN 接口板 ID.Nr359002-02
HEIDENHAIN 編碼器 ECN 1313 2048 62S12-78 ID：312 212-03
HEIDENHAIN 光柵尺 RON886 ID：Nr311267-08
HEIDENHAIN 編碼器 ID:213 116 04
HEIDENHAIN 編碼器 ERN 1387 2048 62S14-70 L2 ID 385488-59
HEIDENHAIN 編碼器 EQN1325  ID:586653-12
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